凝膠注成型工藝是制備碳化硅陶瓷部件的基礎，該工藝是一種精細的膠態(tài)成型工藝(Colloidalprocessing)，可實(shí)現大尺寸、復雜結構坯體的高強度、高均勻性、近凈尺寸成型，陶瓷料漿制備是凝膠注模成型工藝中的關(guān)鍵環(huán)節之一。

就碳化硅在光刻機構件中的應用而言，分散良好、高穩定性水基碳/碳化硅料漿的制備是獲得優(yōu)質(zhì)、均勻結構碳/碳化硅坯體的前提。此外，料漿具有高的固相體積分數則可以有效減小陶瓷坯體干燥時(shí)的收縮，有利于實(shí)現陶瓷部件的近凈尺寸成型。相應地，陶瓷料漿的制備需要解決兩大難題：一是碳和碳化硅兩種陶瓷粉料在相同條件下的均勻分散，二是盡可能提高料漿的固相含量。

制漿完成后，凝膠注模成型工藝通常采用丙烯酰胺(AM)和N,N’-亞甲基雙丙烯酰胺(MBAM)等作為有機單體，以過(guò)硫酸鹽作為引發(fā)劑，通過(guò)單體自由基聚合實(shí)現對陶瓷懸浮體的原位固化成型。但對于含碳陶瓷料漿，常規方式的聚合誘導期很短，實(shí)現凝膠注模成型則相對困難，需加入在碳基體系料漿里能夠延緩單體聚合的添加劑，使陶瓷料漿有充足的時(shí)間充滿(mǎn)復雜模具，實(shí)現復雜形狀制品的制備。